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硅化硅微粉是以天津碳化硅为原料,通过粉碎设备而制成的。但天津碳化硅在冶炼,粉碎的过程中,不可避免的会混入各种杂质,这些杂质在天津碳化硅微粉使用过程中,会对其所加工的产品质量,制造的半导体器件的性能有很大的影响很大,增加制品的不良品率,降低加工品的表面加工质量等。因此,在生产碳化硅微粉时一定要解决去除其中所含杂质的问题。
碳化硅微粉的的杂质主要包括碳,三氧化二铁,三氧化二铝,氧化钙和氧化镁以及二氧化硅等。这些物质在碳化硅微粉做不同的用途时,分别产生不同的影响,其中以三氧化二铁为主。为了去除碳化硅微粉中的杂质,可在生产环节中采用加酸除杂质的方式,这种除杂质的方法成本低,除杂率高,深受碳化硅微粉厂家的喜爱。